摘要
蓝宝石(α-Al₂O₃)是一种性能优异的功能材料,具有高硬度、高热导率、良好的化学稳定性和光学透明性,广泛应用于半导体、LED、光学窗口、激光器件等领域。本文详细探讨了蓝宝石在不同晶向(如C向、M向、R向、A向等)下的热膨胀系数(CTE)和热导率(Thermal Conductivity)的变化规律,并分析其在不同应用场景中的影响。此外,作为专业的蓝宝石材料供应商,我们可提供多种晶向(C、M、R、A、C偏A等)和尺寸(2寸至12寸)的蓝宝石衬底,并可定制镀膜(如增透膜)、光学元器件(蓝宝石棒、柱等),满足半导体、光学及科研领域的需求。
蓝宝石的晶体结构与各向异性
蓝宝石(α-Al₂O₃)属于六方晶系,具有各向异性,即其物理性质(如热膨胀系数、热导率、硬度等)在不同晶向上存在差异。主要晶向包括:
· C向(0001):最常见,用于LED衬底、光学窗口等。
· A向(11-20):机械性能优异,适用于高应力环境。
· M向(10-10):常用于激光器、光学元件。
· R向(1-102):具有特殊的光学性能,适用于某些激光应用。
由于晶体结构的各向异性,蓝宝石的热膨胀系数和热导率在不同晶向上表现不同,直接影响器件的热稳定性。
蓝宝石的热膨胀系数(CTE)
热膨胀系数(Coefficient of Thermal Expansion, CTE)描述材料在温度变化时的尺寸变化率。蓝宝石的CTE在不同晶向上差异显著:
晶向 | CTE(×10⁻⁶/K,25-1000°C) |
C向(0001) | 平行c轴:~8.3,垂直c轴:~7.5 |
A向(11-20) | ~7.9 |
M向(10-10) | ~8.1 |
R向(1-102) | ~7.7 |
· C向蓝宝石:在平行c轴方向(8.3×10⁻⁶/K)比垂直c轴方向(7.5×10⁻⁶/K)膨胀略大,可能导致异质外延生长(如GaN-on-Sapphire)时产生热应力。
· A向和M向:CTE接近,适用于需要高热稳定性的光学元件。
· R向:CTE较低,适用于高功率激光器,减少热形变。
应用影响:在LED外延生长中,GaN与蓝宝石衬底的CTE不匹配会导致翘曲和缺陷,因此需优化晶向选择(如C偏A向可降低应力)。
蓝宝石的热导率(Thermal Conductivity)
热导率衡量材料传导热量的能力,蓝宝石的热导率同样具有各向异性:
晶向 | 热导率(W/m·K) |
C向(0001) | 平行c轴:~35,垂直c轴:~25 |
A向(11-20) | ~30 |
M向(10-10) | ~28 |
R向(1-102) | ~32 |
· C向蓝宝石:沿c轴热导率最高(35 W/m·K),适用于高功率LED和激光器散热。
· A向和R向:热导率适中,适合光学窗口和激光基板。
· M向:热导率略低,但机械强度高,适用于高应力环境。
应用影响:在半导体激光器中,高热导率可有效降低热阻,提高器件寿命。因此,C向蓝宝石常用于高功率器件。
晶向选择对器件性能的影响
· C向衬底:主流选择,但CTE不匹配可能导致外延层应力。
· C偏A向(如偏4°):可减少缺陷密度,提高LED发光效率。
· R向或A向:低CTE和高热导率组合,减少热形变,适用于高功率激光窗口。
· M向:机械强度高,耐高温,适用于恶劣环境。
作为专业蓝宝石供应商,上海知明提供:
· 多种晶向:C、M、R、A、C偏A等,满足不同热学需求。
· 多种尺寸:2寸、3寸、4寸、6寸、8寸、12寸衬底。
· 定制加工:蓝宝石光学窗口、蓝宝石棒、蓝宝石柱等。
· 镀膜服务:增透膜(AR)、高反射膜(HR)等,提升光学性能。
· 快速供货:大量现货,支持小批量定制。
结论
蓝宝石的热膨胀系数和热导率具有明显的各向异性,不同晶向适用于不同应用场景:
· C向:高热导率,适合LED和激光器。
· A向/M向:机械强度高,适合光学窗口。
· R向:低CTE,适合高功率激光器。
合理选择晶向可优化器件热管理,提高性能和可靠性。上海知明提供全面的蓝宝石材料解决方案,助力您的科研与产业发展。
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